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观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔下炉筒:包括抽真空管道/底座机架:全铸铁机架和底座/坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成/分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管。翻板阀单晶炉构成编辑=提拉头:主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成/副室:主要是副室筒以及上下法兰组成/ 炉盖:副室连接法兰若干胶管 水管卡套等/氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等/电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。
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现有的单晶炉,炉体上的视窗采用的是双层石英玻璃,双层石英玻璃中间设有冷却水循环系统。现有视窗结构的不足之处是:(1)双层石英玻璃中间水的流动会产生波纹,影响观察蓝宝石单晶完整生成的准确度;(2)蓝宝石单晶炉炉内温度高达2100℃,一旦冷却水不均匀会导致视窗玻璃的破碎;(3)视窗的里面是凹面结构,这不仅难度很大,,而且可进行的视窗观察都是单侧观察,这使视窗的观察有局限性,对籽晶下种的操作不那么方便;(4)不能通过视窗充分了解炉内晶体生长的全部情况。且可减少热 能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉,其包括 氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩 气输入管输入的氩气气压为0. 8xl03Pa0. 9xl03Pa,氩气流量为 30L/min。上述技术方案中。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该部的排气口之间的气流导向装置以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气抗氧化(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。